发布日期:2025-05-27 04:58 点击次数:59
金融界2024年12月7日讯息,国度常识产权局信息披露,拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司央求一项名为“千里积制备装配及外延膜千里积制备表情”的专利,公开号 CN 119082860 A赌钱赚钱app,央求日历为2024年9月。
专利摘录披露,本发明属于半导体CVD时期边界,公开了千里积制备装配及外延膜千里积制备表情,千里积制备装配包括响应腔体、固定组件、进气组件以及加热体组件,响应腔体建造有排气口,固定组件包括固定件,固定件倒悬于响应腔体内,固定件被确立为抛弃Wafer,以使Wafer的千里积面朝下;进气组件包括进气管,进气管的出口连通响应腔体内,以向响应腔体内注入响应气体;加热体组件梗概对进气管输出的响应气体以及固定件固定的Wafer加热;外延膜千里积制备表情期骗上述的千里积制备装配,将Wafer的千里积面朝下,在气相悖应经由中的杂质会由于重力下降,而不易径直落至朝下的Wafer的千里积面上,减少杂质落到Wafer名义的概率,升迁了居品良率。
本文源自:金融界
作家:谍报员